Elektrikli Isı Buharlaştırma Makinesi / Termal Vakumlu Damıtma Ekipmanları

Buharlaşma, iki temel işlemi içerir: sıcak kaynak malzemesi, substrat üzerinde buharlaşır ve yoğunlaşır. Bir kaynar potun kapağında sıvı suyun göründüğü bilinen işlemi andırır. Bununla birlikte, gazlı ortam ve ısı kaynağı (aşağıdaki "Ekipman" a bakın) farklıdır.

Buharlaşma bir vakumda gerçekleşir, yani kaynak materyal dışındaki buharlar, işlem başlamadan hemen hemen tamamen uzaklaştırılır. Yüksek vakumda (uzun bir ortalama serbest yol ile), buharlaştırılmış parçacıklar, arka plan gazı ile çarpışmadan doğrudan çökelme hedefine gidebilir. (Buna karşılık, kaynatma kabı örneğinde, su buharı, kabın kapağına ulaşmadan önce havayı dışarı iter.) 10 ⁻⁴ Pa'lık tipik bir basınçta, 0.4-nm'lik bir parçacık, ortalama bir serbest yol 60'a sahiptir. m. Isıtma filamanları gibi buharlaşma odasındaki sıcak nesneler, vakumun kalitesini sınırlayan istenmeyen buharlar üretir.

Yabancı parçacıklar ile çarpışan buharlaşmış atomlar bunlarla reaksiyona girebilir; Örneğin, eğer oksijen oksijen varlığında depolanırsa, alüminyum oksit oluşturacaktır. Ayrıca, alt tabakaya ulaşan buhar miktarını da azaltırlar, bu da kalınlığın kontrolünü zorlaştırır.

Substratın pürüzlü bir yüzeye sahip olması durumunda (genellikle entegre devreler gibi) buharlaştırılmamış materyaller muntazam olmayan bir şekilde depolanır. Buharlaşan malzeme çoğunlukla tek bir yönden alt tabakaya saldırdığı için, çıkıntılı özellikler buharlaşan malzemeyi bazı alanlardan bloke eder. Bu fenomen "gölgeleme" veya "adım kapsama" olarak adlandırılır.

Buharlaşma, zayıf vakumda veya atmosfer basıncına yakın olarak gerçekleştirildiğinde, ortaya çıkan birikme genellikle tekdüze değildir ve sürekli veya pürüzsüz bir film olmaya eğilimlidir. Aksine, çökelme bulanık görünecektir.